Nano-Electro-Mechanical System
Kombination aus mechanischen und optischen Elementen sowie Sensoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat bzw. Chip. Sie sind eine Weiterentwicklung der Micro Electro Mechanical System (MEMS) auf der Nanoebene, denen sie in Aufbau und Anwendung ähnlich sind.
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Das Glossar erläutert die wichtigsten Fachbegriffe rund um die Technologien für die Zukunftsmärkte von heute, morgen und übermorgen. Von A wie App über M wie MEMS bis hin zu Z wie ZigBee.