{"id":1467,"date":"2016-09-28T12:52:25","date_gmt":"2016-09-28T10:52:25","guid":{"rendered":"http:\/\/electronic-trends.de\/?p=1467"},"modified":"2017-11-30T14:48:48","modified_gmt":"2017-11-30T13:48:48","slug":"der-vater-des-mems","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/innovators\/der-vater-des-mems\/","title":{"rendered":"Der Vater des MEMS"},"content":{"rendered":"<p><strong>Mit der Entwicklung des Resonant Gate Transistors schuf Harvey C. Nathanson 1965 das erste <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> Bauteil. Damit legte er einen wesentlichen Grundstein f&uuml;r die heutige Wearable-Technologie.<\/strong><\/p>\n<p>Es ist schwer, einen <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/algorithmus\/\" target=\"_blank\" title=\"Eine allgemein nachvollziehbare eindeutige Beschreibung einer Folge von Aktionen zur L&ouml;sung eines, meist mathematischen, Problems.\" class=\"encyclopedia\">Algorithmus<\/a> f&uuml;r Erfolg zu definieren&ldquo;, meint Harvey C. Nathanson. Dennoch war er es &ndash; erfolgreich. Denn Nathanson, Jahrgang 1936, gilt als Erfinder des elektronischen Bauteils, ohne das heutige <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/wearables\/\" target=\"_blank\" title=\"Elektronische Kleinstsysteme, die in Alltagsgegenst&auml;nde eingebettet sind und auf, am oder sogar im K&ouml;rper getragen&hellip;\" class=\"encyclopedia\">Wearables<\/a> nicht realisierbar w&auml;ren &ndash; des <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a>.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"alignnone wp-image-2607 size-full\" src=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-2.jpg\" alt=\"Wearables_Innovators_MEMS-2\" width=\"523\" height=\"283\" srcset=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-2.jpg 523w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-2-370x200.jpg 370w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-2-300x162.jpg 300w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-2-320x173.jpg 320w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-2-277x150.jpg 277w\" sizes=\"auto, (max-width: 523px) 100vw, 523px\"><\/p>\n<h2>Schon immer von Elektrik fasziniert<\/h2>\n<p>Nathansons Interesse galt schon immer der Elektrizit&auml;t und den Transistoren. Als Kind experimentiert er mit Strom und Gl&uuml;hbirnen, wobei auch mal die eine oder andere Sicherung dran glauben musste. Von einem Bekannten, der ein Fan von Aufnahmetechniken war, lernte er viel &uuml;ber R&ouml;hren, Mikrofone und Hi-Fi-Systeme. Sein Hobby machte er schlie&szlig;lich zum Beruf: Er promovierte als Elektroingenieur am Carnegie Institute of Technology (der heutigen Carnegie Mellon Universit&auml;t) und begann seine berufliche Karriere in den Forschungslabors von Westinghouse, genauer bei einer Forschungsgruppe, die die Westinghouse Electronic Systems Abteilung unterst&uuml;tzte und viel f&uuml;r den milit&auml;rischen Bereich entwickelte. &bdquo;Es hat sehr viel Spa&szlig; gemacht, mit den Ingenieuren in Baltimore zusammenzuarbeiten&ldquo;, so Nathanson. &bdquo;Sie waren f&uuml;hrend im Bereich <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/radar\/\" target=\"_blank\" title=\"Radio Detection and Ranging Erkennungs- und Ortungsverfahren auf der Basis elektromagnetischer Wellen im Radiofrequenzbereich.\" class=\"encyclopedia\">Radar<\/a> und elektronische Gegenma&szlig;nahmen und in die unterschiedlichsten Projekte involviert.&ldquo;<\/p>\n<h2>Das Ziel &ndash; ein mechanischer Resonator<\/h2>\n<p>Er war gerade einmal 29 Jahre alt als er 1965 den Auftrag von seinem Chef Dr. William E. Newell erhielt, eine miniaturisierte Tuning-Methode f&uuml;r integrierte Schaltungen zu entwickeln. Bisherige L&ouml;sungen dazu waren weder besonders klein noch boten sie den gew&uuml;nschten Qualtit&auml;tsfaktor. Ziel war es, einen mechanischen Resonator zu entwickeln. &bdquo;Nat&uuml;rlich sollte die neue L&ouml;sung preiswert, mit den verf&uuml;gbaren IC-Produktionstechnologien zu fertigen sein und auch noch &uuml;ber Input- und Output-Schaltkreise verf&uuml;gen&ldquo;, erg&auml;nzt Nathanson. &bdquo;Wir suchten also einen Ersatz f&uuml;r die existierenden, gro&szlig;en LC-Schwingkreise mit niedrigem Qualit&auml;tsfaktor&ldquo;, so Nathanson. &bdquo;Zusammen mit Robert Wickstrom, der Techniker bei uns war, konnte ich den Resonant Gate Transistor erfinden, designen, demonstrieren, erste Patente anmelden und herstellen. Unsere <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> waren die ersten integrierten Schaltkreise mit beweglichen mikroelektromechanischen Teilen.&ldquo;<\/p>\n<h2>Lernen von dem Erfinder des MEMS<\/h2>\n<p>Erm&ouml;glicht hat diesen Erfolg die Bereitschaft des Milit&auml;rs, ein ausreichendes Budget f&uuml;r die notwendigen Forschungen bereitzustellen. Ein wichtiger Rat von Harvey C. Nathanson an zuk&uuml;nftige Erfinder lautet daher: &bdquo;Man sollte sich eine Branche suchen, bei der genug Geld vorhanden ist.&ldquo; Damit man entsprechende Quellen anzapfen kann, empfiehlt Nathanson zudem jedem Forscher, sich eine Reputation aufzubauen. Ganz wichtig f&uuml;r ihn sind dabei zum Beispiel Ver&ouml;ffentlichungen in entsprechenden Fachmedien. &bdquo;Wenn man in seiner Branche respektiert wird, dann bekommt man auch die n&ouml;tigen Gelder &ndash; auch vom Staat&ldquo;, betont der Vater der <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a>. Ein Trackrecord, also die eigene pers&ouml;nliche Erfolgsgeschichte, schaffe Vertrauen bei potenziellen Geldgebern.<br>\nDoch Geld ist nat&uuml;rlich nicht alles. Gerade f&uuml;r jemanden, der wirklich neue Wege gehen will, so wie Nathanson damals bei der Erfindung des <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a>, ist der Blick &uuml;ber den Tellerrand unverzichtbar. Sein zweiter Rat an Forscher lautet daher, immer mehrere Fachmagazine zu lesen und sich &uuml;ber die Ergebnisse anderer Forschungsbereiche auf dem Laufenden zu halten. &bdquo;Man erh&auml;lt so viele &shy;Ideen und Inspirationen f&uuml;r seine eigene Arbeit. Oft liefern Forschungen aus ganz anderen Bereichen L&ouml;sungen, die man in seine Arbeit transferieren kann und die v&ouml;llig neue Ans&auml;tze erm&ouml;glichen.&ldquo; Doch ein erfolgreiches Produkt ben&ouml;tigt mehr als nur eine gute Idee, es muss nachher auch einen Nutzen f&uuml;r den Anwender und Kunden bieten. Harvey C. Nathansons Ansatz: &bdquo;Wenn man wirklich ein f&uuml;r den Anwender n&uuml;tzliches Ding entwickeln will, braucht man Partner.&ldquo; Er empfiehlt gerade Elektronikern und Physikern, mit Systemexperten zusammenzuarbeiten.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"alignnone wp-image-2608 size-full\" src=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-3.jpg\" alt=\"Wearables_Innovators_MEMS\" width=\"523\" height=\"283\" srcset=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-3.jpg 523w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-3-370x200.jpg 370w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-3-300x162.jpg 300w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-3-320x173.jpg 320w, https:\/\/future-markets-magazine.com\/wp-content\/uploads\/2016\/09\/Wearables_Innovators_MEMS-3-277x150.jpg 277w\" sizes=\"auto, (max-width: 523px) 100vw, 523px\"><\/p>\n<h2>Im Unruhestand<\/h2>\n<p>Zum Million&auml;r hat ihn seine Erfindung zwar nicht gemacht, da er die <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> als Angestellter von Westinghouse entwickelte. Aber es folgte eine spannende Karriere in der Elektronikbranche: Er wurde Chef-Wissenschaftler f&uuml;r Projekte rund um elektronische Bauteile in den Westinghouse Forschungslabors. Als solcher erfand er noch viele weitere innovative L&ouml;sungen f&uuml;r die Verteidigungstechnik von Westinghouse und Northrop, die die Forschungsgruppe sp&auml;ter &uuml;bernahm. &bdquo;Meine Rolle bei der Erfindung der <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> erm&ouml;glichte mir w&auml;hrend meiner gesamten Karriere viele Freiheiten bei meinen Forschungen&ldquo;, so Nathanson. Er war 2001 Mitbegr&uuml;nder der <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> Industry Group &ndash; der heutigen <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> &amp; Sensor Industry Group &ndash; und st&auml;ndiges Vorstandsmitglied. Auch heute noch ist er ihr als &bdquo;Emeritus&ldquo; eng verbunden. 2001 schlie&szlig;lich verabschiedete sich Nathanson in den Ruhestand, zumindest teilweise: Bis 2012 war er weiterhin als Berater f&uuml;r Northrop Grumman t&auml;tig. &bdquo;Der Ruhestand ist nichts f&uuml;r Memmen&ldquo;, meint Nathanson mit einem Lachen &ndash; und ist daher auch heute, mit 79, noch eher im Unruhestand. Gerade beim Thema Halbleiter versucht er, auf dem Laufenden zu bleiben: &bdquo;Ich interessiere mich zum Beispiel sehr f&uuml;r die m&ouml;gliche Rolle, die neue ultrakleine Atomuhren bei der koh&auml;renten Signalverarbeitung von RF-Signalen einnehmen k&ouml;nnen.&ldquo; Und Harvey C. Nathanson gibt seine Erfahrungen gerne weiter, steht jederzeit f&uuml;r die Diskussion neuer Ideen zur Verf&uuml;gung. Allerdings: Auch wenn &bdquo;seine&ldquo; <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/mems\/\" target=\"_blank\" title=\"Micro-Electro-Mechanical System Eine Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat&hellip;\" class=\"encyclopedia\">MEMS<\/a> mit den <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/wearables\/\" target=\"_blank\" title=\"Elektronische Kleinstsysteme, die in Alltagsgegenst&auml;nde eingebettet sind und auf, am oder sogar im K&ouml;rper getragen&hellip;\" class=\"encyclopedia\">Wearables<\/a> einen g&auml;nzlich neuen Technologiebereich erm&ouml;glicht haben, Nathanson sieht sich immer noch als &bdquo;Sensor-Mann&ldquo; und nutzt keine <a href=\"https:\/\/future-markets-magazine.com\/de\/encyclopedia\/wearables\/\" target=\"_blank\" title=\"Elektronische Kleinstsysteme, die in Alltagsgegenst&auml;nde eingebettet sind und auf, am oder sogar im K&ouml;rper getragen&hellip;\" class=\"encyclopedia\">Wearables<\/a> &ndash; au&szlig;er sein iPhone 6, auf das er nicht mehr verzichten m&ouml;chte.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Mit der Entwicklung des Resonant Gate Transistors schuf Harvey C. 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